ULVAC 愛(ài)發(fā)科隔膜型干泵是一種利用隔膜往復(fù)運(yùn)動(dòng)來(lái)實(shí)現(xiàn)排氣的真空泵。其核心部件為偏心軸（轉(zhuǎn)子），通過(guò)旋轉(zhuǎn)將動(dòng)力經(jīng)連桿傳遞至隔膜。隔膜的反復(fù)上下運(yùn)動(dòng)使泵腔內(nèi)的體積周期性變化，從而將氣體從進(jìn)氣口吸入、壓縮并通過(guò)排氣口排出，實(shí)現(xiàn)真空環(huán)境的建立。這種結(jié)構(gòu)確保了氣體始終沿同一方向輸送，且整個(gè)過(guò)程無(wú)需使用油或液體介質(zhì)，避免了油蒸氣污染，保證了清潔排氣

隔膜型干泵采用無(wú)油運(yùn)行機(jī)制，消除了油污染問(wèn)題，為需要高清潔度的工藝提供了理想的真空環(huán)境。同時(shí)，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，維護(hù)需求低，日常僅需簡(jiǎn)單檢查和定期更換隔膜等易損件，大幅降低了維護(hù)成本和設(shè)備停機(jī)時(shí)間

ULVAC 愛(ài)發(fā)科提供豐富的產(chǎn)品線，涵蓋單級(jí)和雙級(jí)隔膜泵，如 DAP-12S、DA-60S、DAT-100S 等單級(jí)泵，以及 DAP-6D、DA-30D、DAT-50D 等雙級(jí)泵。不同型號(hào)在有效排氣速度、極限壓力等方面表現(xiàn)各異，用戶可根據(jù)具體應(yīng)用需求靈活選擇。例如，DAP-12S 在 50Hz 下的有效排氣速度為 6-12L/min，而 DA-60S 則可達(dá) 60L/min，極限壓力低至 21.3×103 Pa（-80.0kPa）

對(duì)于特殊應(yīng)用場(chǎng)景，ULVAC 推出了耐腐蝕型（如 DTC 系列）和高真空型（如 DAU 系列）隔膜泵。耐腐蝕型泵與氣體接觸的部件采用高耐腐蝕材料，如 PTFE 和 FPM，可安全處理腐蝕性氣體和有機(jī)溶劑。高真空型則通過(guò)串聯(lián)泵室提高壓縮比，極限壓力更低，例如 DTU-20 型極限壓力可達(dá) 10Pa 以下，滿足高真空需求

隔膜型干泵體積小巧、重量輕，便于集成到各類設(shè)備中。以 DAP-18S-DC24 為例，其重量?jī)H為 1.75kg，尺寸為 83.5mm（寬）×165mm（長(zhǎng)）×123.8mm（高），且能耗低，使用 DC24V 電源時(shí)功率僅 14W，適合對(duì)空間和能耗有嚴(yán)格要求的應(yīng)用場(chǎng)景

內(nèi)置自動(dòng)復(fù)位型熱保護(hù)器等安全設(shè)計(jì)，如 DTU-20 型隔膜泵，在過(guò)載或異常情況下能有效保護(hù)設(shè)備，防止損壞。此外，ULVAC 愛(ài)發(fā)科隔膜型干泵在設(shè)計(jì)和制造過(guò)程中嚴(yán)格遵循相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，確保產(chǎn)品在各種工況下的穩(wěn)定性和可靠性

憑借上述優(yōu)勢(shì)，ULVAC 愛(ài)發(fā)科隔膜型干泵廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子設(shè)備制造、醫(yī)療、印刷、光學(xué)、包裝等行業(yè)，可用于真空排氣、真空濃縮、過(guò)濾、脫氣消泡、真空吸盤、薄膜吸附等多種工藝過(guò)程，為現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)提供了高效、可靠的真空解決方案